測量精度: 1.8um起
特性:
加厚的臺面設計為中型工件提供了可靠的測量支撐。
Y向導軌采用燕尾式結構,定位精度高,穩定性能好。
系列化的規格尺寸設計,為用戶提供不同大小工件的測量需求。
Z軸先進的氣動平衡技術,極大的提高了Z軸的定位精度及穩定性。
雷尼紹插槽式光柵RTLC系列測量位置反饋系統。
配置先進的實時溫度補償系統,高了產品溫度適用范圍。
多種豐富的測量配置可完成復雜的測量需求。
可提供多種測量應用配置方案。
標準規格: 121510、 122210、 123010、152212、153012、152014、 152614、 153314